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工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表


洁净度
产业别

洁净度(≥0.5μm,个/ft3)

1

10

100

1000

10000

100000

LSI制造工程

 

 

 

 

LSI组立检查工程

 

 

 

 

(矽)单结晶

 

 

 

 

 

 

照像光罩photo mask

 

 

 

 

光阻涂膜photoresist

 

 

 

 

一般液晶(tn,stn)

 

 

 

 

 

 

显示用液晶(tft,mim)

 

 

 

 

投影用液晶(tft)

 

 

 

 

混合(hybrid)IC

 

 

 

 

 

 

印刷基板材料

 

 

 

 

 

印刷配线板

 

 

 

 

 

 

电晶体、二极体

 

 

 

 

精密电子部品

 

 

 

 

 

磁头

 

 

 

 

 

 

磁碟

 

 

 

 

电脑、磁碟装置组立

 

 

 

 

 

录影带、光碟

 

 

 

 

照像底片

 

 

 

 

 

光织

 

 

 

 

 

 

精密轴承

 

 

 

 

光学镜片

 

 

 

 

 

半导体制造装置

 

 

 

 

洁净管及阀类

 

 

 

 

LSI制造用化学药品

 

 

 

 

精密测定机制造

 

 

 

 

 

清洗无压衣

 

 

 

 

 

印刷、制版

 

 

 

 

 

 

 

洁净室无尘室设计施工目录

1
洁净室无尘室设计要点
2
工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表
3

生物洁净室(BCR)之洁净度与适用和分类表

4

无尘室施工