 |
工程安装 |
|
|
|
工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表
洁净度
产业别 |
洁净度(≥0.5μm，个/ft3) |
1 |
10 |
100 |
1000 |
10000 |
100000 |
|
LSI制造工程 |
|
|
|
|
|
LSI组立检查工程 |
|
|
|
|
|
(矽)单结晶 |
|
|
|
|
|
|
|
照像光罩photo mask |
|
|
|
|
光阻涂膜photoresist |
|
|
|
|
一般液晶(tn,stn) |
|
|
|
|
|
|
|
显示用液晶(tft,mim) |
|
|
|
|
|
投影用液晶(tft) |
|
|
|
|
|
混合(hybrid)IC |
|
|
|
|
|
|
|
印刷基板材料 |
|
|
|
|
|
|
印刷配线板 |
|
|
|
|
|
|
|
电晶体、二极体 |
|
|
|
|
|
精密电子部品 |
|
|
|
|
|
|
磁头 |
|
|
|
|
|
|
|
磁碟 |
|
|
|
|
|
电脑、磁碟装置组立 |
|
|
|
|
|
|
录影带、光碟 |
|
|
|
|
|
照像底片 |
|
|
|
|
|
|
光织 |
|
|
|
|
|
|
|
精密轴承 |
|
|
|
|
|
光学镜片 |
|
|
|
|
|
|
半导体制造装置 |
|
|
|
|
|
洁净管及阀类 |
|
|
|
|
|
LSI制造用化学药品 |
|
|
|
|
|
精密测定机制造 |
|
|
|
|
|
|
清洗无压衣 |
|
|
|
|
|
|
印刷、制版 |
|
|
|
|
|
|
|
洁净室无尘室设计施工目录
|
|
